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圓度儀1949年出現(xiàn)于英國,起初只帶有記錄器,由人工根據(jù)記錄圖形計算圓度誤差。60年代開始采用模擬電子計算機進行數(shù)據(jù)處理,并以最小二乘圓法計算圓度誤差,70年代采用數(shù)字電子計算機,可以最小二乘圓法、最小外接圓法、最大內(nèi)接圓法和最小區(qū)域法等評定圓度誤差,并能自動找正中心,補償由于安裝偏心引起的測量誤差等。傳感器回轉(zhuǎn)式圓度儀結(jié)構(gòu)復雜,但精密軸系不受被測件重量影響,測量精確度較高,適宜于測量較重工件。
工作臺回轉(zhuǎn)式圓度儀結(jié)構(gòu)簡單,但精密軸系受被測件重量載荷后會影響回轉(zhuǎn)精度,故適用于測量較輕工件。圓度儀精密軸系的回轉(zhuǎn)精度可達0.025微米,采用誤差分離法,利用電子計算機自動補償精密軸系的系統(tǒng)誤差,并采用多次測量方法減小偶然誤差,可將測量精確度提高到0.005微米。
圓度儀